华蓝-揭阳市vocs一企一策综合整治方案

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由于半导体技术对操作室的清洁度要求---，通常使用鼓风机技术中挥发的各种废气，因此半导体行业的废气排出具有排出量大、排出浓度小的特点。这些废气排放主要分为酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体4种。酸碱废气主要来自扩散、cvd、cmp、蚀刻等工序，这些工序用酸碱清洗液清洗晶片。目前，半导体制造技术中常用的清洗溶剂是和---混合剂。这些工序产生的废气包括--- 、---、磷酸等挥发气，vocs一企一策综合整治方案流程，碱性气体为氨。

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拥有罐体的企业应说明罐体数量、罐体类型(包括卧式、拱顶、内浮顶和外浮顶)、所储存液体的种类和年储存储量，并提供罐体的维修保养情况，揭阳市vocs一企一策综合整治方案，其中包括图片说明。化学工业企业应说明管道、阀门、泵、压缩机、减压阀、连接口、开口管、采样连接口等装置中密封点的数目，说明密封点是否有损坏(如有损坏等)，是否对密封点进行了检漏维修(ldar)等相关工作。具有化工装置的企业应说明化工装置的停运情况、排放方式、是否配备回收和净化装置等。

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